用油作多级泵密封液的必要性
当前大量使用的多级泵，即使设计得较好，相向运动的零件间配合精度即使很高。在多级泵达到极限真空时，也难以阻止气体由低真空端向入口端“突破”返流。另外，由于多级泵在设计制造及装配中不可避免地存在有害空间，这也降低多级泵的极限真空度。油封式多级泵就是用油将相向运动的零部件和排气阀零件间密封起来；将有害空间充填，使得高压气体反“突破”的机会少得多，密封性能也就好得多，从而使多级泵能达到较高的真空度。
当前大量使用的多级泵，即使设计得较好，相向运动的零件间配合精度即使很高。在多级泵达到极限真空时，也难以阻止气体由低真空端向入口端“突破”返流。另外，由于多级泵在设计制造及装配中不可避免地存在有害空间，这也降低多级泵的极限真空度。油封式多级泵就是用油将相向运动的零部件和排气阀零件间密封起来；将有害空间充填，使得高压气体反“突破”的机会少得多，密封性能也就好得多，从而使多级泵能达到较高的真空度。
